Temperaturkontrollsystem für die Prüfung von Halbleiterwafern
With the rapid development of electronic technology, the semiconductor industry plays a vital role in modern society. As a key equipment, the wafer testing temperature control system is widely used in the semiconductor production and testing process. Its accurate and reliable performance has become an important factor in ensuring the quality and performance of semiconductor products.
The wafer testing temperature control system is a device used to control the temperature of the wafer. Its basic principle is to ensure that the wafer is in a constant temperature state during the semiconductor testing process through precise temperature control and stability. The temperature of the wafer has an important impact on the performance and reliability of semiconductor devices. Therefore, testing the stability and accuracy of the temperature control system is very critical. The system usually consists of a temperature control device, temperature sensor, control algorithm and data collection. Through real-time monitoring and control of temperature changes, it ensures that the wafer is always within a certain temperature range during the test process.
Wafer testing temperature control system is widely used in the semiconductor production and testing process. Its main function is to ensure the performance and reliability of semiconductor devices. In the semiconductor production process, wafer testing temperature control systems are used to test the functionality and reliability of chips to ensure product quality and performance. During the semiconductor packaging process, wafer testing temperature control systems are used to test and evaluate packaging materials to ensure packaging quality and performance. In addition, wafer testing temperature control systems are also widely used in semiconductor R&D and education fields for testing and verification of new materials and new processes.
In the future, wafer testing temperature control systems will face higher temperature control requirements and more complex testing needs. With the continuous advancement of semiconductor technology, the requirements for chip performance and reliability are becoming higher and higher. Therefore, the wafer testing temperature control system needs to improve the accuracy and stability of temperature control to meet the higher requirements of semiconductor testing needs. At the same time, with the introduction of new materials and new processes, the wafer testing temperature control system also needs to adapt to the characteristics of different materials and processes to provide more flexible and customized temperature control solutions.
Wir bieten die Entwicklung und Herstellung kompletter Temperaturkontrollsysteme an. Von Standardmodellen bis zu kompletten kundenspezifischen Produkten bis hin zu 900 Tonnen. Wir haben uns auf den Kundenservice spezialisiert und sind bestrebt, jedem Kunden zu helfen, das optimale Temperaturkontrollsystem für seinen spezifischen Bedarf zu finden.
Wir bieten maßgeschneiderte Lösungen, die nicht dem Standard entsprechen. Es sind sowohl einzelne Kühlaggregate als auch kombinierte Kühl- und Heizaggregate erhältlich.
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Kühl- und Heizsysteme (Serie SUNDI)
- Temperaturbereich: -120℃ ~ +350℃
- Hochpräzise, intelligente Temperaturregelung
- Kühlleistung: 0,5kW ~ 1200kW
- Vollständig geschlossenes System zur Verlängerung der Lebensdauer des Thermofluids
- Jedes Gerät wird mehr als 12 Stunden lang einem Belastungstest unterzogen.
Temperaturbereich | Serie -10 ~ +150°C | Serie -25 ~ +200°C | Serie -25 ~ +300°C | Serie -45 ~ +250°C | Serie -45 ~ +300°C | Serie -60 ~ +250°C | Serie -60 ~ +300°C | Serie -70 ~ +250°C | Serie -80 ~ +250°C | Serie -90 ~ +250°C | Serie -100 ~ +100°C | ||
Kühlleistung | 1,5 ~ 15kW | 1 ~ 200kW | 1 ~ 200kW | 0,45 ~ 200kW | 0,9 ~ 25kW | 0,25 ~ 60kW | 0,75 ~ 25kW | 0,4 ~ 15kW | 0,3 ~ 80kW | 0,2 ~ 80kW | 0,45 ~ 80kW | ||
Hinweis: Jeder Temperaturbereich von -150℃ ~ +350℃ und jede Kühlleistung kann angepasst werden |
Kühl- und Heizsysteme (WTD-Serie)
- (Mikrokanal / Röhrenreaktoren spezialisiert)
- Temperaturbereich: -70℃ ~ +300℃
- Leistungsstarke Umwälzpumpe, stabilere Temperaturregelung
- Breiter Temperaturbereich zur Erfüllung der Anforderungen mehrerer Branchen
- Jedes Gerät wird mehr als 12 Stunden lang einem Belastungstest unterzogen.
Temperaturbereich | -70°C ~ +300°C | -45°C ~ +250°C | -70°C ~ +200°C | ||||||
Kühlleistung | 1.1 ~ 7.5kW | 1.5 ~ 5.5kW | 11 ~ 50kW | ||||||
Hinweis: Jeder Temperaturbereich von -150℃ ~ +350℃ und jede Kühlleistung kann angepasst werden |
Umwälzpumpen für Kühlung und Heizung
- Temperaturbereich: -45℃ ~ +250℃
- Emerson Copeland Kompressor, zuverlässige Qualität
- Selbstdiagnosefunktion, mehrere Sicherheitsschutzvorrichtungen
- Vollständig geschlossenes System zur Verlängerung der Lebensdauer des Thermofluids
- Jedes Gerät wird mehr als 12 Stunden lang einem Belastungstest unterzogen.
Temperaturbereich | Serie -25°C ~ +200°C | Serie -45°C ~ +250°C | |||||||
Kühlleistung | 1 ~ 15kW | 0,25 ~ 15kW | |||||||
Hinweis: Jeder Temperaturbereich von -150℃ ~ +350℃ und jede Kühlleistung kann angepasst werden |
Heizungsumwälzpumpen
- Temperaturbereich: +50℃ ~ +300℃
- Große Wärmeaustauschfläche und schnelle Aufheizgeschwindigkeit
- Selbstdiagnosefunktion, mehrere Sicherheitsschutzvorrichtungen
- Geschlossenes Kreislaufsystem, kein Ölnebel bei hohen Temperaturen
- Jedes Gerät wird mehr als 12 Stunden lang einem Belastungstest unterzogen.
Temperaturbereich | +50°C ~ +170°C (UC-Serie) | +50°C ~ +300°C (UC-Serie) | +50°C ~ +300°C (UST-Serie) | ||||||
Heizleistung | 5,5 ~ 15kW | 3,5 ~ 130kW | 3,5 ~ 95kW | ||||||
Hinweis: Jeder Temperaturbereich von -150℃ ~ +350℃ und jede Kühlleistung kann angepasst werden |
TES-Serie (Temperaturregelung für Kraftstoff- und Öltests)
- Temperaturbereich: -85℃ ~ +250℃
- Siemens PLC-Steuerung und anderes Markenzubehör
- Selbstdiagnosefunktion, mehrere Sicherheitsschutzvorrichtungen
- Vollständig geschlossenes Kreislaufsystem, kein Ölnebel bei hohen Temperaturen
- Jedes Gerät wird mehr als 12 Stunden lang einem Belastungstest unterzogen.
Temperaturbereich | Serie -45°C ~ +250°C | Serie -85°C ~ +200°C | Serie -60°C ~ +200°C | ||||||
Kühlleistung | 0,3 ~ 25kW | 0,25 ~ 25kW | 3 ~ 60kW | ||||||
Hinweis: Jeder Temperaturbereich von -150℃ ~ +350℃ und jede Kühlleistung kann angepasst werden |
TCU Multireaktoren Temperaturkontrollsystem
- Temperaturbereich: -120℃ ~ +250℃
- Versiegelte, wiederholbare Temperaturkontrolle
- Eingebautes Thermoöl-Hilfssystem für elektrische Heizung
- Hinzufügen von Kälte- und Wärmequellen-Wärmetauschermodulen je nach Bedarf
- Jedes Gerät wird mehr als 12 Stunden lang einem Belastungstest unterzogen.
Temperaturbereich | Serie -45°C ~ +250°C | -120°C ~ +250°C Reihe | Kundenspezifisches Temperaturkontrollsystem | RT+10°C ~ +135°C | |||||
Heizleistung | 25 ~ 80kW | 25 ~ 80kW | Benutzerdefiniert | 25 ~ 300kW | |||||
Hinweis: Jeder Temperaturbereich von -150℃ ~ +350℃ und jede Kühlleistung kann angepasst werden |
Rückkühler / Umwälzkühler
Die Kältemaschine kann in verschiedenen Industrien und Labors eingesetzt werden und unterstützt kundenspezifische Designs.
Temperaturbereich | Serie -25°C ~ +30°C | -45°C ~ +30°C Reihe | Serie -60°C ~ -20°C | Serie -80°C ~ -20°C | Serie -120°C ~ -70°C | ||||
Kühlleistung | 0,8 ~ 30kW | 0,75 ~ 12kW | 0,4 ~ 6kW | 0,2 ~ 6kW | 0,3 ~ 5kW | ||||
Hinweis: Jeder Temperaturbereich von -150℃ ~ +350℃ und jede Kühlleistung kann angepasst werden |
Mini-Kaltwassersätze / Kleinkaltwassersätze
Die Kältemaschine kann in verschiedenen Industrien und Labors eingesetzt werden und unterstützt kundenspezifische Designs.
Temperaturbereich | -18°C ~ +30°C | +5°C ~ +35°C Reihe | |||||||
Kühlleistung | 0,35 ~ 0,9kW | 1,8 ~ 50kW | |||||||
Hinweis: Jeder Temperaturbereich von -150℃ ~ +350℃ und jede Kühlleistung kann angepasst werden |
Niedertemperatur-Kühlgeräte
Wir haben uns auf die Herstellung von Niedertemperaturkältemaschinen mit einem Temperaturregelbereich von bis zu -150°C spezialisiert, die den Kühlbedarf verschiedener Branchen decken.
Temperaturbereich | Serie -25°C ~ -5°C | Serie -45°C ~ -10°C | Serie -60°C ~ -10°C | Serie -80°C ~ -30°C | Serie -110°C ~ -50°C | Serie -150°C ~ -110°C | |||
Kühlleistung | 12 ~ 360kW | 6 ~ 180kW | 6 ~ 180kW | 4 ~ 180kW | 2 ~ 120kW | 2,5 ~ 11kW | |||
Hinweis: Jeder Temperaturbereich von -150℃ ~ +350℃ und jede Kühlleistung kann angepasst werden |
Hochtemperatur-Kühlgeräte
Die Kältemaschine kann in verschiedenen Industrien und Labors eingesetzt werden und unterstützt kundenspezifische Designs.
Temperaturbereich | +5°C ~ +40°C | -25°C ~ +40°C | -45°C ~ +40°C | -80°C ~ +80°C | -100°C ~ +80°C | ||||
Kühlleistung | 6 ~ 40kW | 2 ~ 15kW | 1 ~ 8kW | 0,6 ~ 3kW | 1,5 ~ 3kW | ||||
Hinweis: Jeder Temperaturbereich von -150℃ ~ +350℃ und jede Kühlleistung kann angepasst werden |