Semiconductor Wafer Testing Temperature Control System

The wafer testing temperature control system is a key equipment used in semiconductor production to accurately control the wafer temperature to ensure product quality and performance. It consists of a temperature control device, a temperature sensor, a control algorithm and data acquisition, and will face higher precision and accuracy in the future. Stability challenges.

Principle and composition of semiconductor wafer testing temperature control system

The basic principle of the wafer testing temperature control system is to ensure that the wafer is in a constant temperature state during the semiconductor testing process through precise temperature control and stability. The temperature of the wafer has an important impact on the performance and reliability of semiconductor devices. Therefore, testing the stability and accuracy of the temperature control system is very critical. The system usually consists of the following parts:

1. Temperature control device: Responsible for providing the required temperature control.

2. Temperature sensor: monitor temperature changes in real time.

3. Control algorithm: Adjust according to the monitored temperature changes to maintain the set temperature.

4. Data collection: Collect temperature data for analysis and recording.

Application fields of semiconductor wafer testing temperature control system

1. Semiconductor production: Functional and reliability testing of chips.

2. Semiconductor packaging: testing and evaluating packaging materials.

3. R&D and education: testing and verification of new materials and new processes.

Solutions for wafer testing

Wafer high and low temperature testing has become increasingly important in fields such as automotive electronics, photovoltaics, and industrial automation. Challenges include:

1. Temperature uniformity control: ensure a precise temperature environment.

2. Temperature rise and fall rate: The rate is increased through zone temperature control and reforming.

3. Reduce the impact of high temperature on components: avoid oxidation and physical deformation.

The wafer testing temperature control system plays a decisive role in the quality of semiconductor products. With the development of technology, systems face higher requirements and require continuous innovation and improvement to adapt to new challenges. Through research and technical solutions, the performance of the system can be improved and the quality and reliability of semiconductor devices can be ensured.

Wir bieten die Entwicklung und Herstellung kompletter Temperaturkontrollsysteme an. Von Standardmodellen bis hin zu kompletten kundenspezifischen Produkten. Wir haben uns auf den Kundenservice spezialisiert und sind bestrebt, jedem Kunden zu helfen, das optimale Temperaturkontrollsystem für seinen spezifischen Bedarf zu finden.

Wir bieten maßgeschneiderte Lösungen, die nicht dem Standard entsprechen. Es sind sowohl einzelne Kühlaggregate als auch kombinierte Kühl- und Heizaggregate erhältlich.

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TES-Reihe (Benutzerdefinierte Designs)

Geeignet für die präzise Temperaturkontrolle von elektronischen Bauteilen. Bei der Herstellung von elektronischen Halbleiterkomponenten für raue Umgebungen umfassen die Phasen der IC-Gehäusemontage sowie der Entwicklungs- und Produktionstests auch elektronische Wärmetests und andere Simulationen von Umwelttests.

LTS-Serie (fluorierte Flüssigkeit) (Benutzerdefinierte Designs)

Weit verbreitet in der Halbleiterfertigung zur Regelung der Temperatur der Reaktionskammer, der Temperatur der Wärmesenke und der Temperaturregelung der nicht brennbaren Flüssigkeit des Wärmeträgers.

FLT-Reihe (Benutzerdefinierte Designs)

Das Halbleiter-Temperaturregelungssystem Chiller wird hauptsächlich für die präzise Temperaturregelung in der Halbleiterproduktion und im Testprozess verwendet. Er wurde speziell für die Halbleiterindustrie entwickelt und konstruiert.

FLT Multi Channel Temp Contol (Benutzerdefinierte Designs)

Multi channel independent temperature control, which can have a separate temperature range, cooling and heating capacity, thermal conductivity medium flow rate, etc., adopts two independent systems. According to the required temperature range, steam compression refrigeration or ETCU non compressor heat exchange system can be selected. The system can be used for universal expansion tanks, condensers, cooling water systems, etc., which can effectively reduce equipment size and operation steps.

FLTZ-Serie Frequenzumwandlung (Benutzerdefinierte Designs)

Die Temperaturregelung, die Umwälzpumpe und der Kompressor werden alle durch Frequenzumwandlung eingestellt.

ETCU-Reihe (Benutzerdefinierte Designs)

Art des Wärmeaustauschs

System ohne Kompressor

Baureihe ZLFQ (Benutzerdefinierte Designs)

Kühlmittelverteilereinheit

Flüssigkeitskühlgeräte eignen sich für die Prüfung von Halbleitern, die Prüfung elektronischer Geräte bei konstanter Temperatur, die Kühlung der Serverinfrastruktur und andere Orte, an denen die Temperatur von Flüssigkeiten kontrolliert wird.

MD-Thermofutter-Serie (Benutzerdefinierte Designs)

Es wird für die Prüfung von HF-Bauteilen und Leistungsbauteilen mit hoher Dichte (IGBTs und MOSFETs) verwendet und kann auch für die schnelle Kühlung von flachen Laborplatten (Plasma, biologische Produkte, Batterien) usw. eingesetzt werden.

Strahlenschlagprüfmaschine der Serie AES

(Benutzerdefinierte Designs)

Temperaturregelbereich: -120°C ~ +225°C

AI-Serie Umluft-Temperaturregelsystem

(Benutzerdefinierte Designs)

Temperaturregelbereich: -105°C ~ +125°C

LQ Serie Gas-Kühlsystem

(Benutzerdefinierte Designs)

Temperaturregelbereich: -110°C ~ -40°C

YQH Serie VOCs Abgaskondensationsrückgewinnungsgerät

(Benutzerdefinierte Designs)

Angewandt auf die Rückgewinnung von Gaskondensation und Verflüssigung. Die Abgase oder andere elektronische Gase werden über den Saugzugventilator (Vakuumpumpe) an das Gerät angeschlossen, verflüssigt, gesammelt und durch Absenken der Temperatur in den Sammelbehälter abgeschieden, und andere Gase werden abgeleitet, um die Kondensation, Erfassung und Rückgewinnung des Gases zu realisieren.

Baureihe ZLJ / SLJ (Benutzerdefinierte Designs)

Er ist für Orte geeignet, an denen die Wärmeaustauschfläche des Wärmetauschers klein, die Wärmeaustauschkapazität jedoch groß ist. Das Kältemittel wird direkt in den Ableiter geleitet, um zu verdampfen, und das Gas im Raum wird durch den Kondensationseffekt an der Oberfläche des Ableiters schnell aufgefangen.