Temperature Control System for Semiconductor Chip Manufacturing

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Semiconductors are the core of modern electronic technology and are widely used in computers, communications, energy and other fields. However, the performance and life of semiconductor devices are affected by temperature. Too high or too low temperatures can cause device failure or even damage. Therefore, it is crucial to design an efficient and reliable semiconductor temperature control system.

The semiconductor temperature control system mainly consists of three parts: sensor, controller and actuator. The sensor is responsible for measuring the temperature, and the controller controls the actuator to achieve appropriate temperature regulation based on the measurement results. Among them, the accuracy and response speed of the sensor directly affect the performance of the entire system.

Currently, there are two main types of commonly used semiconductor temperature control systems: ordinary PID control and model predictive control. Ordinary PID control is a classic feedback control method with the advantages of simple implementation, stability and reliability. However, in complex nonlinear systems, its adjustment accuracy and response speed are limited. In contrast, model predictive control relies on modeling and prediction of system dynamic characteristics, and has better control accuracy and response speed. However, model predictive control requires more computing resources and higher controller design requirements.

No matter what control method is used, semiconductor temperature control systems face some common challenges. First, the signal transmission between the sensor and the controller must be fast and stable to ensure timely and accurate response to temperature changes. Secondly, the design and selection of the actuator directly affects the regulation effect and energy consumption. Finally, for large-scale semiconductor production lines, automation and remote monitoring are needed to improve production efficiency and reduce labor costs.

In practical applications, various improvements and optimizations can be made to the semiconductor temperature control system according to different usage scenarios and needs. For example, add filters or signal amplifiers to improve signal transmission quality; adopt multi-level control strategies to enhance system robustness and fault tolerance; use intelligent algorithms or machine learning technology to achieve adaptive control and optimal adjustment.

Semiconductor temperature control system is an indispensable part of modern electronic technology and has important application value and research significance. With the advancement of science and technology and the continuous improvement of application requirements, semiconductor temperature control systems will face more challenges and opportunities and require continuous innovation and optimization to meet future development needs.

Wir bieten die Entwicklung und Herstellung kompletter Temperaturkontrollsysteme an. Von Standardmodellen bis zu kompletten kundenspezifischen Produkten bis hin zu 900 Tonnen. Wir haben uns auf den Kundenservice spezialisiert und sind bestrebt, jedem Kunden zu helfen, das optimale Temperaturkontrollsystem für seinen spezifischen Bedarf zu finden.

Wir bieten maßgeschneiderte Lösungen, die nicht dem Standard entsprechen. Es sind sowohl einzelne Kühlaggregate als auch kombinierte Kühl- und Heizaggregate erhältlich.

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TES-Reihe (Benutzerdefinierte Designs)

Geeignet für die präzise Temperaturkontrolle von elektronischen Bauteilen. Bei der Herstellung von elektronischen Halbleiterkomponenten für raue Umgebungen umfassen die Phasen der IC-Gehäusemontage sowie der Entwicklungs- und Produktionstests auch elektronische Wärmetests und andere Simulationen von Umwelttests.

LTS-Serie (fluorierte Flüssigkeit) (Benutzerdefinierte Designs)

Weit verbreitet in der Halbleiterfertigung zur Regelung der Temperatur der Reaktionskammer, der Temperatur der Wärmesenke und der Temperaturregelung der nicht brennbaren Flüssigkeit des Wärmeträgers.

FLT-Reihe (Benutzerdefinierte Designs)

Das Halbleiter-Temperaturregelungssystem Chiller wird hauptsächlich für die präzise Temperaturregelung in der Halbleiterproduktion und im Testprozess verwendet. Er wurde speziell für die Halbleiterindustrie entwickelt und konstruiert.

FLTZ-Serie Frequenzumwandlung (Benutzerdefinierte Designs)

Die Temperaturregelung, die Umwälzpumpe und der Kompressor werden alle durch Frequenzumwandlung eingestellt.

ETCU-Reihe (Benutzerdefinierte Designs)

Art des Wärmeaustauschs

System ohne Kompressor

Baureihe ZLFQ (Benutzerdefinierte Designs)

Kühlmittelverteilereinheit

Flüssigkeitskühlgeräte eignen sich für die Prüfung von Halbleitern, die Prüfung elektronischer Geräte bei konstanter Temperatur, die Kühlung der Serverinfrastruktur und andere Orte, an denen die Temperatur von Flüssigkeiten kontrolliert wird.

MD-Thermofutter-Serie (Benutzerdefinierte Designs)

Es wird für die Prüfung von HF-Bauteilen und Leistungsbauteilen mit hoher Dichte (IGBTs und MOSFETs) verwendet und kann auch für die schnelle Kühlung von flachen Laborplatten (Plasma, biologische Produkte, Batterien) usw. eingesetzt werden.

Gas-Temperaturregelsysteme                                                               

Strahlenschlagprüfmaschine der Serie AES

(Benutzerdefinierte Designs)

Temperaturregelbereich: -120°C ~ +225°C

AI-Serie Umluft-Temperaturregelsystem

(Benutzerdefinierte Designs)

Temperaturregelbereich: -105°C ~ +125°C

LQ Serie Gas-Kühlsystem

(Benutzerdefinierte Designs)

Temperaturregelbereich: -110°C ~ -40°C

YQH Serie VOCs Abgaskondensationsrückgewinnungsgerät

(Benutzerdefinierte Designs)

Angewandt auf die Rückgewinnung von Gaskondensation und Verflüssigung. Die Abgase oder andere elektronische Gase werden über den Saugzugventilator (Vakuumpumpe) an das Gerät angeschlossen, verflüssigt, gesammelt und durch Absenken der Temperatur in den Sammelbehälter abgeschieden, und andere Gase werden abgeleitet, um die Kondensation, Erfassung und Rückgewinnung des Gases zu realisieren.

Baureihe ZLJ / SLJ (Benutzerdefinierte Designs)

Er ist für Orte geeignet, an denen die Wärmeaustauschfläche des Wärmetauschers klein, die Wärmeaustauschkapazität jedoch groß ist. Das Kältemittel wird direkt in den Ableiter geleitet, um zu verdampfen, und das Gas im Raum wird durch den Kondensationseffekt an der Oberfläche des Ableiters schnell aufgefangen.