Temperature Control System for Semiconductor Chip Manufacturing
Semiconductors are the core of modern electronic technology and are widely used in computers, communications, energy and other fields. However, the performance and life of semiconductor devices are affected by temperature. Too high or too low temperatures can cause device failure or even damage. Therefore, it is crucial to design an efficient and reliable semiconductor temperature control system.
The semiconductor temperature control system mainly consists of three parts: sensor, controller and actuator. The sensor is responsible for measuring the temperature, and the controller controls the actuator to achieve appropriate temperature regulation based on the measurement results. Among them, the accuracy and response speed of the sensor directly affect the performance of the entire system.
Currently, there are two main types of commonly used semiconductor temperature control systems: ordinary PID control and model predictive control. Ordinary PID control is a classic feedback control method with the advantages of simple implementation, stability and reliability. However, in complex nonlinear systems, its adjustment accuracy and response speed are limited. In contrast, model predictive control relies on modeling and prediction of system dynamic characteristics, and has better control accuracy and response speed. However, model predictive control requires more computing resources and higher controller design requirements.
No matter what control method is used, semiconductor temperature control systems face some common challenges. First, the signal transmission between the sensor and the controller must be fast and stable to ensure timely and accurate response to temperature changes. Secondly, the design and selection of the actuator directly affects the regulation effect and energy consumption. Finally, for large-scale semiconductor production lines, automation and remote monitoring are needed to improve production efficiency and reduce labor costs.
In practical applications, various improvements and optimizations can be made to the semiconductor temperature control system according to different usage scenarios and needs. For example, add filters or signal amplifiers to improve signal transmission quality; adopt multi-level control strategies to enhance system robustness and fault tolerance; use intelligent algorithms or machine learning technology to achieve adaptive control and optimal adjustment.
Semiconductor temperature control system is an indispensable part of modern electronic technology and has important application value and research significance. With the advancement of science and technology and the continuous improvement of application requirements, semiconductor temperature control systems will face more challenges and opportunities and require continuous innovation and optimization to meet future development needs.
Ofrecemos diseño y fabricación de sistemas completos de control de temperatura. Desde modelos estándar hasta productos personalizados completos de hasta 900 toneladas. Nos especializamos en el servicio al cliente y nos dedicamos a ayudar a cada cliente a tener el sistema de control de temperatura óptimo para su necesidad específica.
Ofrecemos soluciones personalizadas no estándar. Disponemos tanto de enfriadoras individuales como de unidades combinadas de refrigeración y calefacción.
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Serie TES (Diseños a medida)
Adecuado para el control preciso de la temperatura de los componentes electrónicos. En la fabricación de componentes electrónicos semiconductores para entornos adversos, las fases de ensamblaje de embalajes de CI y de pruebas de ingeniería y producción incluyen pruebas térmicas electrónicas y otras simulaciones de pruebas ambientales.
Temperatura | Serie -45°C ~ +250°C | Serie -85°C ~ +200°C | Serie -60°C ~ +200°C | ||||||
Capacidad de refrigeración | 0,3 ~ 25 kW | 0,25 ~ 25 kW | 3 ~ 60kW | ||||||
Nota: Se puede personalizar cualquier rango de temperatura de -150℃ ~ +350℃ y cualquier capacidad de refrigeración. |
Serie LTS (Líquido fluorado) (Diseños a medida)
Ampliamente utilizado en el proceso de fabricación de semiconductores para controlar la temperatura de la cámara de reacción, la temperatura del disipador de calor y el control de la temperatura del fluido no inflamable del medio de transferencia de calor.
Temperatura | Serie -20°C ~ +80°C | Serie -45°C ~ +80°C | Serie -60°C ~ +80°C | Serie -80°C ~ +80°C | |||||
Control de caudal | 7 ~ 45 L/min | 7 ~ 45 L/min | 7 ~ 45 L/min | 7 ~ 45 L/min | |||||
Nota: Se puede personalizar cualquier rango de temperatura de -150℃ ~ +350℃ y cualquier capacidad de refrigeración. |
Serie FLT (Diseños a medida)
El enfriador del sistema de control de temperatura de semiconductores se utiliza principalmente para el control preciso de la temperatura en el proceso de producción de semiconductores y el proceso de pruebas. Está especialmente desarrollado y diseñado para la industria de semiconductores.
Temperatura | +5°C ~ +40°C | -25°C ~ +40°C | -45°C ~ +40°C | -80°C ~ +80°C | -100°C ~ +80°C | ||||
Capacidad de refrigeración | 6 ~ 40kW | 2 ~ 15kW | 1 ~ 8kW | 0,6 ~ 3 kW | 1,5 ~ 3 kW | ||||
Nota: Se puede personalizar cualquier rango de temperatura de -150℃ ~ +350℃ y cualquier capacidad de refrigeración. |
Conversión de frecuencia de la serie FLTZ (Diseños a medida)
El sistema de control de temperatura de la serie de conversión de doble frecuencia, la bomba de circulación y el compresor se ajustan mediante conversión de frecuencia.
Temperatura | -30°C ~ +40°C | ||||||||
Capacidad de refrigeración | 5 ~ 11kW | ||||||||
Nota: Se puede personalizar cualquier rango de temperatura de -150℃ ~ +350℃ y cualquier capacidad de refrigeración. |
Serie ETCU (Diseños a medida)
Tipo de intercambio térmico
Sistema sin compresor
Temperatura | +5°C ~ +90°C | ||||||||
Capacidad de refrigeración | 5 ~ 30 kW | ||||||||
Nota: Se puede personalizar cualquier rango de temperatura de -150℃ ~ +350℃ y cualquier capacidad de refrigeración. |
Serie ZLFQ (Diseños a medida)
Unidad de distribución de refrigerante
El equipo de refrigeración líquida es adecuado para pruebas de semiconductores, pruebas de temperatura constante de equipos electrónicos, infraestructura de soporte de servidores de refrigeración y otros lugares de control de temperatura de fluidos.
Temperatura | +5°C ~ +35°C | +5°C ~ +35°C | |||||||
Capacidad de refrigeración | 15 ~ 150 kW | 200 ~ 500 kW | |||||||
Nota: Se puede personalizar cualquier rango de temperatura de -150℃ ~ +350℃ y cualquier capacidad de refrigeración. |
Serie de mandriles térmicos MD (Diseños a medida)
Se utiliza para probar dispositivos de radiofrecuencia y dispositivos de potencia de alta densidad (IGBT y MOSFET), y también puede utilizarse para el enfriamiento rápido de paneles planos de laboratorio (plasma, productos biológicos, baterías), etc.
Temperatura | -75°C ~ +225°C | ||||||||
Precisión de la temperatura | ±0.1℃ | ||||||||
Nota: Se puede personalizar cualquier rango de temperatura de -150℃ ~ +350℃ y cualquier capacidad de refrigeración. |
Sistemas de control de la temperatura del gas
Máquina de ensayo de impacto por chorro de la serie AES
Rango de control de temperatura: -120°C ~ +225°C
Sistema de control de temperatura del aire de recirculación de la serie AI
Rango de control de temperatura: -105°C ~ +125°C
Sistema de refrigeración por gas serie LQ
Rango de control de temperatura: -110°C ~ -40°C
Recuperador de condensación de gases residuales de la serie YQH
Aplicado a la recuperación de licuefacción por condensación de gases. Los gases de escape u otros gases electrónicos se conectan al equipo a través del ventilador de tiro inducido (bomba de vacío), se licúan, se recogen y se separan en el depósito de recogida bajando la temperatura, y se descargan otros gases, para realizar la condensación, captura y recuperación del gas.
Serie ZLJ / SLJ (Diseños a medida)
Es adecuado para lugares donde el área de intercambio de calor del intercambiador de calor es pequeña pero la capacidad de intercambio de calor es grande. También se puede utilizar para la captura de gas, el refrigerante pasa directamente a la trampa para evaporarse, y el gas en el espacio se captura rápidamente a través del efecto de condensación en la superficie de la trampa.
Temperatura | -40°C ~ -15°C | -80°C ~ -50°C | -150°C ~ -110°C | ||||||
Capacidad de refrigeración | 0,5 ~ 4 kW | 0,37 ~ 3,1 kW | 2,5 ~ 9 kW | ||||||
Serie ZLJ | Serie SLJ | ||||||||
Nota: Se puede personalizar cualquier rango de temperatura de -150℃ ~ +350℃ y cualquier capacidad de refrigeración. |