Semiconductor Wafer Testing Temperature Control System

The wafer testing temperature control system is a key equipment used in semiconductor production to accurately control the wafer temperature to ensure product quality and performance. It consists of a temperature control device, a temperature sensor, a control algorithm and data acquisition, and will face higher precision and accuracy in the future. Stability challenges.

Principle and composition of semiconductor wafer testing temperature control system

The basic principle of the wafer testing temperature control system is to ensure that the wafer is in a constant temperature state during the semiconductor testing process through precise temperature control and stability. The temperature of the wafer has an important impact on the performance and reliability of semiconductor devices. Therefore, testing the stability and accuracy of the temperature control system is very critical. The system usually consists of the following parts:

1. Temperature control device: Responsible for providing the required temperature control.

2. Temperature sensor: monitor temperature changes in real time.

3. Control algorithm: Adjust according to the monitored temperature changes to maintain the set temperature.

4. Data collection: Collect temperature data for analysis and recording.

Application fields of semiconductor wafer testing temperature control system

1. Semiconductor production: Functional and reliability testing of chips.

2. Semiconductor packaging: testing and evaluating packaging materials.

3. R&D and education: testing and verification of new materials and new processes.

Solutions for wafer testing

Wafer high and low temperature testing has become increasingly important in fields such as automotive electronics, photovoltaics, and industrial automation. Challenges include:

1. Temperature uniformity control: ensure a precise temperature environment.

2. Temperature rise and fall rate: The rate is increased through zone temperature control and reforming.

3. Reduce the impact of high temperature on components: avoid oxidation and physical deformation.

The wafer testing temperature control system plays a decisive role in the quality of semiconductor products. With the development of technology, systems face higher requirements and require continuous innovation and improvement to adapt to new challenges. Through research and technical solutions, the performance of the system can be improved and the quality and reliability of semiconductor devices can be ensured.

Ofrecemos diseño y fabricación de sistemas completos de control de temperatura. Desde modelos estándar hasta productos personalizados completos. Nos especializamos en el servicio al cliente y nos dedicamos a ayudar a cada cliente a tener el sistema de control de temperatura óptimo para su necesidad específica.

Ofrecemos soluciones personalizadas no estándar. Disponemos tanto de enfriadoras individuales como de unidades combinadas de refrigeración y calefacción.

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Serie TES (Diseños a medida)

Adecuado para el control preciso de la temperatura de los componentes electrónicos. En la fabricación de componentes electrónicos semiconductores para entornos adversos, las fases de ensamblaje de embalajes de CI y de pruebas de ingeniería y producción incluyen pruebas térmicas electrónicas y otras simulaciones de pruebas ambientales.

Serie LTS (Líquido fluorado) (Diseños a medida)

Ampliamente utilizado en el proceso de fabricación de semiconductores para controlar la temperatura de la cámara de reacción, la temperatura del disipador de calor y el control de la temperatura del fluido no inflamable del medio de transferencia de calor.

Serie FLT (Diseños a medida)

El enfriador del sistema de control de temperatura de semiconductores se utiliza principalmente para el control preciso de la temperatura en el proceso de producción de semiconductores y el proceso de pruebas. Está especialmente desarrollado y diseñado para la industria de semiconductores.

FLT Multi Channel Temp Contol (Diseños a medida)

Multi channel independent temperature control, which can have a separate temperature range, cooling and heating capacity, thermal conductivity medium flow rate, etc., adopts two independent systems. According to the required temperature range, steam compression refrigeration or ETCU non compressor heat exchange system can be selected. The system can be used for universal expansion tanks, condensers, cooling water systems, etc., which can effectively reduce equipment size and operation steps.

Conversión de frecuencia de la serie FLTZ (Diseños a medida)

El sistema de control de temperatura de la serie de conversión de doble frecuencia, la bomba de circulación y el compresor se ajustan mediante conversión de frecuencia.

Serie ETCU (Diseños a medida)

Tipo de intercambio térmico

Sistema sin compresor

Serie ZLFQ (Diseños a medida)

Unidad de distribución de refrigerante

El equipo de refrigeración líquida es adecuado para pruebas de semiconductores, pruebas de temperatura constante de equipos electrónicos, infraestructura de soporte de servidores de refrigeración y otros lugares de control de temperatura de fluidos.

Serie de mandriles térmicos MD (Diseños a medida)

Se utiliza para probar dispositivos de radiofrecuencia y dispositivos de potencia de alta densidad (IGBT y MOSFET), y también puede utilizarse para el enfriamiento rápido de paneles planos de laboratorio (plasma, productos biológicos, baterías), etc.

Máquina de ensayo de impacto por chorro de la serie AES

(Diseños a medida)

Rango de control de temperatura: -120°C ~ +225°C

Sistema de control de temperatura del aire de recirculación de la serie AI

(Diseños a medida)

Rango de control de temperatura: -105°C ~ +125°C

Sistema de refrigeración por gas serie LQ

(Diseños a medida)

Rango de control de temperatura: -110°C ~ -40°C

Recuperador de condensación de gases residuales de la serie YQH

(Diseños a medida)

Aplicado a la recuperación de licuefacción por condensación de gases. Los gases de escape u otros gases electrónicos se conectan al equipo a través del ventilador de tiro inducido (bomba de vacío), se licúan, se recogen y se separan en el depósito de recogida bajando la temperatura, y se descargan otros gases, para realizar la condensación, captura y recuperación del gas.

Serie ZLJ / SLJ (Diseños a medida)

Es adecuado para lugares donde el área de intercambio de calor del intercambiador de calor es pequeña pero la capacidad de intercambio de calor es grande. También se puede utilizar para la captura de gas, el refrigerante pasa directamente a la trampa para evaporarse, y el gas en el espacio se captura rápidamente a través del efecto de condensación en la superficie de la trampa.