Semiconductor Wafer Testing Temperature Control System
The wafer testing temperature control system is a key equipment used in semiconductor production to accurately control the wafer temperature to ensure product quality and performance. It consists of a temperature control device, a temperature sensor, a control algorithm and data acquisition, and will face higher precision and accuracy in the future. Stability challenges.
Principle and composition of semiconductor wafer testing temperature control system
The basic principle of the wafer testing temperature control system is to ensure that the wafer is in a constant temperature state during the semiconductor testing process through precise temperature control and stability. The temperature of the wafer has an important impact on the performance and reliability of semiconductor devices. Therefore, testing the stability and accuracy of the temperature control system is very critical. The system usually consists of the following parts:
1. Temperature control device: Responsible for providing the required temperature control.
2. Temperature sensor: monitor temperature changes in real time.
3. Control algorithm: Adjust according to the monitored temperature changes to maintain the set temperature.
4. Data collection: Collect temperature data for analysis and recording.
Application fields of semiconductor wafer testing temperature control system
1. Semiconductor production: Functional and reliability testing of chips.
2. Semiconductor packaging: testing and evaluating packaging materials.
3. R&D and education: testing and verification of new materials and new processes.
Solutions for wafer testing
Wafer high and low temperature testing has become increasingly important in fields such as automotive electronics, photovoltaics, and industrial automation. Challenges include:
1. Temperature uniformity control: ensure a precise temperature environment.
2. Temperature rise and fall rate: The rate is increased through zone temperature control and reforming.
3. Reduce the impact of high temperature on components: avoid oxidation and physical deformation.
The wafer testing temperature control system plays a decisive role in the quality of semiconductor products. With the development of technology, systems face higher requirements and require continuous innovation and improvement to adapt to new challenges. Through research and technical solutions, the performance of the system can be improved and the quality and reliability of semiconductor devices can be ensured.
Nous assurons la conception et la fabrication de systèmes complets de contrôle de la température. Des modèles standard aux produits entièrement personnalisés. Nous sommes spécialisés dans le service à la clientèle et nous nous efforçons d'aider chaque client à obtenir le système de contrôle de la température optimal pour ses besoins spécifiques.
Nous fournissons des solutions personnalisées non standard. Nous proposons aussi bien des refroidisseurs à simple refroidissement que des unités combinées de refroidissement et de chauffage.
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Série TES (Modèles sur mesure)
Convient pour le contrôle précis de la température des composants électroniques. Lors de la fabrication de composants électroniques semi-conducteurs destinés à des environnements difficiles, les phases d'assemblage, d'ingénierie et d'essais de production de l'emballage des circuits intégrés comprennent des essais thermiques électroniques et d'autres simulations d'essais environnementaux.
Plage de température | Série -45°C ~ +250°C | Série -85°C ~ +200°C | Série -60°C ~ +200°C | ||||||
Capacité de refroidissement | 0,3 ~ 25kW | 0,25 ~ 25kW | 3 ~ 60kW | ||||||
Note : Toute plage de température de -150℃ ~ +350℃ et toute capacité de refroidissement peuvent être personnalisées. |
Série LTS (liquide fluoré) (Modèles sur mesure)
Largement utilisé dans le processus de fabrication des semi-conducteurs pour contrôler la température de la chambre de réaction, la température du dissipateur thermique et le contrôle de la température du fluide ininflammable de l'agent de transfert de chaleur.
Plage de température | Série -20°C ~ +80°C | Série -45°C ~ +80°C | Série -60°C ~ +80°C | Série -80°C ~ +80°C | |||||
Contrôle du débit | 7 ~ 45 L/min | 7 ~ 45 L/min | 7 ~ 45 L/min | 7 ~ 45 L/min | |||||
Note : Toute plage de température de -150℃ ~ +350℃ et toute capacité de refroidissement peuvent être personnalisées. |
Série FLT (Modèles sur mesure)
Le refroidisseur du système de contrôle de la température des semi-conducteurs est principalement utilisé pour le contrôle précis de la température dans le processus de production et de test des semi-conducteurs. Il est spécialement développé et conçu pour l'industrie des semi-conducteurs.
Plage de température | +5°C ~ +40°C | -25°C ~ +40°C | -45°C ~ +40°C | -80°C ~ +80°C | -100°C ~ +80°C | ||||
Capacité de refroidissement | 6 ~ 40kW | 2 ~ 15kW | 1 ~ 8kW | 0,6 ~ 3kW | 1,5 ~ 3kW | ||||
Note : Toute plage de température de -150℃ ~ +350℃ et toute capacité de refroidissement peuvent être personnalisées. |
FLT Multi Channel Temp Contol (Modèles sur mesure)
Multi channel independent temperature control, which can have a separate temperature range, cooling and heating capacity, thermal conductivity medium flow rate, etc., adopts two independent systems. According to the required temperature range, steam compression refrigeration or ETCU non compressor heat exchange system can be selected. The system can be used for universal expansion tanks, condensers, cooling water systems, etc., which can effectively reduce equipment size and operation steps.
Plage de température | -20°C ~ +90°C | -45°C ~ +80°C | -10°C ~ +80°C | -20°C ~ +100°C | |||||
Capacité de refroidissement | 4kW | 5 ~ 13kW | 3 ~ 6kW | 8 ~ 15kW | |||||
Note : Toute plage de température de -150℃ ~ +350℃ et toute capacité de refroidissement peuvent être personnalisées. |
Série FLTZ Conversion de fréquence (Modèles sur mesure)
Système de régulation de la température, pompe de circulation et compresseur réglés par conversion de fréquence.
Plage de température | -30°C ~ +40°C | ||||||||
Capacité de refroidissement | 5 ~ 11kW | ||||||||
Note : Toute plage de température de -150℃ ~ +350℃ et toute capacité de refroidissement peuvent être personnalisées. |
Série ETCU (Modèles sur mesure)
Type d'échange thermique
Système sans compresseur
Plage de température | +5°C ~ +90°C | ||||||||
Capacité de refroidissement | 5 ~ 30kW | ||||||||
Note : Toute plage de température de -150℃ ~ +350℃ et toute capacité de refroidissement peuvent être personnalisées. |
Série ZLFQ (Modèles sur mesure)
Unité de distribution du liquide de refroidissement
L'équipement de refroidissement liquide convient aux tests de semi-conducteurs, aux tests de température constante des équipements électroniques, au refroidissement de l'infrastructure de soutien des serveurs et à d'autres lieux de contrôle de la température des fluides.
Plage de température | +5°C ~ +35°C | +5°C ~ +35°C | |||||||
Capacité de refroidissement | 15 ~ 150kW | 200 ~ 500kW | |||||||
Note : Toute plage de température de -150℃ ~ +350℃ et toute capacité de refroidissement peuvent être personnalisées. |
Série de mandrins thermiques MD (Modèles sur mesure)
Il est utilisé pour tester les dispositifs RF et les dispositifs de puissance à haute densité (IGBT et MOSFET), et peut également être utilisé pour le refroidissement rapide des panneaux plats de laboratoire (plasma, produits biologiques, batteries), etc.
Plage de température | -75°C ~ +225°C | ||||||||
Précision de la température | ±0.1℃ | ||||||||
Note : Toute plage de température de -150℃ ~ +350℃ et toute capacité de refroidissement peuvent être personnalisées. |
Machine d'essai d'impact à jet de la série AES
Plage de contrôle de la température : -120°C ~ +225°C
Système de régulation de la température de l'air recyclé de la série AI
Plage de contrôle de la température : -105°C ~ +125°C
Système de réfrigération à gaz de la série LQ
Plage de contrôle de la température : -110°C ~ -40°C
Dispositif de récupération par condensation des gaz résiduaires COV de la série YQH
Appliqué à la récupération par condensation et liquéfaction des gaz. Les gaz d'échappement ou d'autres gaz électroniques sont connectés à l'équipement par l'intermédiaire du ventilateur à tirage induit (pompe à vide), liquéfiés, collectés et séparés dans le réservoir de collecte en abaissant la température, et les autres gaz sont évacués, de manière à réaliser la condensation, la capture et la récupération du gaz.
Série ZLJ / SLJ (Modèles sur mesure)
Il convient aux endroits où la zone d'échange de chaleur de l'échangeur de chaleur est petite mais où la capacité d'échange de chaleur est grande. Il peut également être utilisé pour la capture de gaz, le réfrigérant passe directement dans le piège pour s'évaporer, et le gaz dans l'espace est rapidement capturé par l'effet de condensation sur la surface du piège.
Plage de température | -40°C ~ -15°C | -80°C ~ -50°C | -150°C ~ -110°C | ||||||
Capacité de refroidissement | 0,5 ~ 4kW | 0,37 ~ 3,1 kW | 2,5 ~ 9kW | ||||||
Série ZLJ | Série SLJ | ||||||||
Note : Toute plage de température de -150℃ ~ +350℃ et toute capacité de refroidissement peuvent être personnalisées. |