Industrial Process Chiller For Semiconductor

Industrial Process Chiller For Semiconductor

In the component industry, the requirements for semiconductors and chips are relatively high. The process cooling Chiller can test the performance of components in different environments, and there is also a different temperature test and other performance tests in packaging and assembly production.

The semiconductor-specific temperature control device developed by our company is also called process cooling Chiller. It is mainly used to accurately control the temperature of the reaction chamber in the semiconductor manufacturing process. It is mainly composed of a heat exchanger, circulating pump, compressor and control system. A self-balancing The circulation device belongs to the temperature control equipment in the production process.

The temperature control accuracy of the process cooling Chiller is better than ±0.3°C, and it can be switched at any working condition from -85°C to 250°C, with good temperature followability; the equipment has a fault self-diagnosis function, and when the equipment fails, it will alarm in time and display on the touch screen Above; fully enclosed pipeline design, fuzzy PID control algorithm, with cascade control algorithm, the temperature difference between the outlet temperature of the heat transfer oil and the external temperature sensor can be set and controlled.

Process cooling Chiller is mainly used in temperature shock and temperature cycle tests of chips, high and low temperature cycle tests of chips, fatigue failure tests, performance tests of chips, modules, integrated circuits, electronic components, etc., reliability analysis, etc.

カスタム冷凍機                                                                                                                  

低温チラー (カスタムデザイン)

当社は、-150℃の温度制御範囲を持つ低温冷凍機の生産を専門としており、さまざまな業界の冷凍ニーズを満たすことができます。

循環式チラー (カスタムデザイン)

私達の再循環のスリラーは低温冷凍の技術を採用し、温度は- 120℃と低く、さまざまな付属品はカスタマイズ可能です。

室温チラー/小型チラー (カスタムデザイン)

チラーは様々な産業や研究所で広く使用することができ、カスタマイズされた設計をサポートしています。

Chillers for Automotive Battery Test (カスタムデザイン)

車両品質テスト用温度シミュレーション：バッテリー寿命テスト、燃料噴射装置/モーターテストベンチ、エアバッグテスト、コンポーネントテストベンチなど。

温度／圧力／流量を個別に制御可能。

1&2: 2つのグループコントロールのための1つの機械。

温度は一定で、圧力と流量は独立して制御できる。

1&3：3つのグループコントロールのために1つのマシン。

1&6：1台で6グループをコントロール。

半導体 チラー (TES series) (カスタムデザイン)

電子部品の精密な温度制御に適しています。過酷な環境に対応する半導体電子部品の製造では、ICパッケージの組み立てやエンジニアリング、製造テストの段階で、電子温度テストやその他の環境テストシミュレーションが行われます。

半導体 チラー (LTS series) (カスタムデザイン)

電子部品の精密な温度制御に適しています。過酷な環境に対応する半導体電子部品の製造では、ICパッケージの組み立てやエンジニアリング、製造テストの段階で、電子温度テストやその他の環境テストシミュレーションが行われます。

エネルギー貯蔵用チラー(カスタムデザイン)

Liquid Cooling Solutions For Battery Energy Storage Systems

スクリュー冷凍機 (カスタムデザイン)

低温スクリュー冷凍機と常温スクリュー冷凍機