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Industrial Process Chiller For Semiconductor
In the component industry, the requirements for semiconductors and chips are relatively high. The process cooling Chiller can test the performance of components in different environments, and there is also a different temperature test and other performance tests in packaging and assembly production.
The semiconductor-specific temperature control device developed by our company is also called process cooling Chiller. It is mainly used to accurately control the temperature of the reaction chamber in the semiconductor manufacturing process. It is mainly composed of a heat exchanger, circulating pump, compressor and control system. A self-balancing The circulation device belongs to the temperature control equipment in the production process.
The temperature control accuracy of the process cooling Chiller is better than ±0.3°C, and it can be switched at any working condition from -85°C to 250°C, with good temperature followability; the equipment has a fault self-diagnosis function, and when the equipment fails, it will alarm in time and display on the touch screen Above; fully enclosed pipeline design, fuzzy PID control algorithm, with cascade control algorithm, the temperature difference between the outlet temperature of the heat transfer oil and the external temperature sensor can be set and controlled.
Process cooling Chiller is mainly used in temperature shock and temperature cycle tests of chips, high and low temperature cycle tests of chips, fatigue failure tests, performance tests of chips, modules, integrated circuits, electronic components, etc., reliability analysis, etc.
저온 냉각기(맞춤형 디자인)
당사는 -150°C의 낮은 온도 제어 범위를 갖춘 저온 냉각기 생산을 전문으로 하며, 다양한 산업의 냉장 요구 사항을 충족할 수 있습니다.
| 온도 범위 | -25°C ~ -5°C 시리즈 | -45°C ~ -10°C 시리즈 | -60°C ~ -10°C 시리즈 | -80°C ~ -30°C 시리즈 | -110°C ~ -50°C 시리즈 | -150°C ~ -110°C 시리즈 |
| 냉각 용량 | 12 ~ 360kW | 6 ~ 180kW | 6 ~ 180kW | 4 ~ 180kW | 2 ~ 120kW | 2.5 ~ 11kW |
재순환 냉각기 (맞춤형 디자인)
당사의 재순환 냉각기는 저온 냉동 기술을 채택하고 온도가 -120℃까지 낮으며 다양한 액세서리를 사용자 정의 할 수 있습니다.
| 온도 범위 | -25°C ~ +30°C 시리즈 | -45°C ~ +30°C 시리즈 | -60°C ~ -20°C 시리즈 | -80°C ~ -20°C 시리즈 | -120°C ~ -70°C 시리즈 |
| 냉각 용량 | 0.8 ~ 30kW | 0.75 ~ 12kW | 0.4 ~ 6kW | 0.2 ~ 6kW | 0.3 ~ 5kW |
실온 냉각기/소형 냉각기 (맞춤형 디자인)
이 냉각기는 다양한 산업 및 실험실에서 널리 사용될 수 있으며 맞춤형 설계를 지원합니다.
| 온도 범위 | -18°C ~ +30°C | +5°C ~ +35°C 시리즈 |
| 냉각 용량 | 0.35 ~ 0.9kW | 1.8 ~ 50kW |
Chillers for Automotive Battery Test (맞춤형 디자인)
차량 품질 테스트를 위한 온도 시뮬레이션: 배터리 수명 테스트, 연료 인젝터/모터 테스트 벤치, 에어백 테스트, 부품 테스트 벤치 등
| 온도 범위 | -25°C ~ +100°C | -40°C ~ +100°C | 0°C ~ +100°C | -40°C ~ +135°C |
| 냉각 용량 | 2.8 ~ 38kW | 1.2 ~ 60kW | 1.8 ~ 60kW | 4 ~ 60kW |
온도/압력/유량을 독립적으로 제어할 수 있습니다.
1&2: 하나의 머신으로 두 그룹을 제어할 수 있습니다.
| 온도 범위 | -40 ~ +100℃ 1&2 | 0 ~ +100℃ 1&2 |
| 냉각 용량 | 1.8kW*2 ~ 60kW*2 | 1.8kW*2 ~ 60kW*2 |
온도는 일정하게 유지되고 압력/유량은 독립적으로 제어할 수 있습니다.
1&3: 하나의 머신으로 세 그룹을 제어할 수 있습니다.
1&6: 하나의 머신으로 6개의 그룹을 제어할 수 있습니다.
| 온도 범위 | -40 ~ +100℃ 1&2 | -40 ~ +100℃ 1&3 | -40 ~ +100℃ 1&6 | -20 ~ +100℃ 1&6 | 0 ~ +100℃ 1&2 | 0 ~ +100℃ 1&3 | 0 ~ +100℃ 1&6 |
| 냉각 용량 | 2.5 ~ 60kW | 4 ~ 60kW | 10 ~ 60kW | 10 ~ 60kW | 7 ~ 60kW | 11 ~ 60kW | 18 ~ 60kW |
반도체 냉각기 (TES series) (맞춤형 디자인)
전자 부품의 정밀한 온도 제어에 적합합니다. 열악한 환경을 위한 반도체 전자 부품 제조에서 IC 패키징 조립 및 엔지니어링 및 생산 테스트 단계에는 전자 열 테스트 및 기타 환경 테스트 시뮬레이션이 포함됩니다.
| 온도 범위 | -45°C ~ +250°C 시리즈 | -85°C ~ +200°C 시리즈 | -60°C ~ +200°C 시리즈 |
| 냉각 용량 | 0.3 ~ 25kW | 0.25 ~ 25kW | 3 ~ 60kW |
반도체 냉각기 (LTS series) (맞춤형 디자인)
전자 부품의 정밀한 온도 제어에 적합합니다. 열악한 환경을 위한 반도체 전자 부품 제조에서 IC 패키징 조립 및 엔지니어링 및 생산 테스트 단계에는 전자 열 테스트 및 기타 환경 테스트 시뮬레이션이 포함됩니다.
| 온도 범위 | -20°C ~ +80°C 시리즈 | -45°C ~ +80°C 시리즈 | -60°C ~ +80°C 시리즈 | -80°C ~ +80°C 시리즈 |
| 흐름 제어 | 7 ~ 45 L/min | 7 ~ 45 L/min | 7 ~ 45 L/min | 7 ~ 45 L/min |
에너지 저장용 냉각기(맞춤형 디자인)
배터리 에너지 저장 시스템용 액체 냉각 솔루션
| 온도 범위 | -45°C ~ +55°C |
| 냉각 용량 | 45kW |
스크류 칠러 (맞춤형 디자인)
저온 스크류 냉각기 및 실온 스크류 냉각기
| 온도 범위 | +5°C ~ +30°C | +5°C ~ +30°C | +5°C ~ +30°C | +5°C ~ +30°C | -25°C ~ +5°C | -25°C ~ +5°C |
| 냉각 용량 | 107 ~ 1027kW(단일 컴프레서) | 299 ~ 2134kW(듀얼 컴프레서) | 98~934kW(단일 컴프레서) | 272 ~ 1940kW(듀얼 컴프레서) | 48 ~ 467kW(단일 컴프레서) | 51 ~ 497kW(단일 컴프레서) |
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