Industrial Process Chiller For Semiconductor
In the component industry, the requirements for semiconductors and chips are relatively high. The process cooling Chiller can test the performance of components in different environments, and there is also a different temperature test and other performance tests in packaging and assembly production.
The semiconductor-specific temperature control device developed by our company is also called process cooling Chiller. It is mainly used to accurately control the temperature of the reaction chamber in the semiconductor manufacturing process. It is mainly composed of a heat exchanger, circulating pump, compressor and control system. A self-balancing The circulation device belongs to the temperature control equipment in the production process.
The temperature control accuracy of the process cooling Chiller is better than ±0.3°C, and it can be switched at any working condition from -85°C to 250°C, with good temperature followability; the equipment has a fault self-diagnosis function, and when the equipment fails, it will alarm in time and display on the touch screen Above; fully enclosed pipeline design, fuzzy PID control algorithm, with cascade control algorithm, the temperature difference between the outlet temperature of the heat transfer oil and the external temperature sensor can be set and controlled.
Process cooling Chiller is mainly used in temperature shock and temperature cycle tests of chips, high and low temperature cycle tests of chips, fatigue failure tests, performance tests of chips, modules, integrated circuits, electronic components, etc., reliability analysis, etc.
Низкотемпературные холодильники (Индивидуальные дизайны)
Мы специализируемся на производстве низкотемпературных чиллеров с диапазоном регулирования температуры до -150°C, которые могут удовлетворить потребности в охлаждении различных отраслей промышленности.
Диапазон температур | Серия -25°C ~ -5°C | Серия -45°C ~ -10°C | Серия -60°C ~ -10°C | Серия -80°C ~ -30°C | Серия -110°C ~ -50°C | Серия -150°C ~ -110°C |
Мощность охлаждения | 12 ~ 360 кВт | 6 ~ 180 кВт | 6 ~ 180 кВт | 4 ~ 180 кВт | 2 ~ 120 кВт | 2,5 ~ 11 кВт |
Рециркуляционные чиллеры (Индивидуальные дизайны)
Наш рециркуляционный охладитель использует низкотемпературную технологию охлаждения, температура составляет до -120℃, а различные аксессуары могут быть настроены.
Диапазон температур | Серия -25°C ~ +30°C | Серия -45°C ~ +30°C | Серия -60°C ~ -20°C | Серия -80°C ~ -20°C | Серия -120°C ~ -70°C |
Мощность охлаждения | 0,8 ~ 30 кВт | 0,75 ~ 12 кВт | 0,4 ~ 6 кВт | 0,2 ~ 6 кВт | 0,3 ~ 5 кВт |
Охладители комнатной температуры / Малые охладители (Индивидуальные дизайны)
Чиллер может широко использоваться в различных отраслях промышленности и лабораториях, а также поддерживает индивидуальный дизайн.
Диапазон температур | -18°C ~ +30°C | Серия +5°C ~ +35°C |
Мощность охлаждения | 0,35 ~ 0,9 кВт | 1,8 ~ 50 кВт |
Охладители для испытания автомобильных аккумуляторов (Индивидуальные дизайны)
Моделирование температуры для проверки качества автомобиля: проверка срока службы аккумулятора, стенд для проверки топливных форсунок/моторов, проверка подушек безопасности, стенд для проверки компонентов и т.д.
Диапазон температур | -25°C ~ +100°C | -40°C ~ +100°C | 0°C ~ +100°C | -40°C ~ +135°C |
Мощность охлаждения | 2,8 ~ 38 кВт | 1,2 ~ 60 кВт | 1,8 ~ 60 кВт | 4 ~ 60 кВт |
Температура / давление / расход могут регулироваться независимо друг от друга.
1&2: одна машина для управления двумя группами.
Диапазон температур | -40 ~ +100℃ 1&2 | 0 ~ +100℃ 1&2 |
Мощность охлаждения | 1,8 кВт*2 ~ 60 кВт*2 | 1,8 кВт*2 ~ 60 кВт*2 |
Температура остается постоянной, давление/расход можно регулировать независимо друг от друга.
1&3: одна машина для управления тремя группами.
1&6: одна машина для управления шестью группами.
Диапазон температур | -40 ~ +100℃ 1&2 | -40 ~ +100℃ 1&3 | -40 ~ +100℃ 1&6 | -20 ~ +100℃ 1&6 | 0 ~ +100℃ 1&2 | 0 ~ +100℃ 1&3 | 0 ~ +100℃ 1&6 |
Мощность охлаждения | 2,5 ~ 60 кВт | 4 ~ 60 кВт | 10 ~ 60 кВт | 10 ~ 60 кВт | 7 ~ 60 кВт | 11 ~ 60 кВт | 18 ~ 60 кВт |
Полупроводник Чиллеры (Серия TES) (Индивидуальные дизайны)
Подходит для точного температурного контроля электронных компонентов. При производстве полупроводниковых электронных компонентов для жестких условий эксплуатации этапы сборки, проектирования и производственного тестирования упаковки ИС включают в себя тепловые испытания электронных компонентов и другие симуляции испытаний на воздействие окружающей среды.
Диапазон температур | Серия -45°C ~ +250°C | Серия -85°C ~ +200°C | Серия -60°C ~ +200°C |
Мощность охлаждения | 0,3 ~ 25 кВт | 0,25 ~ 25 кВт | 3 ~ 60 кВт |
Полупроводник Чиллеры (серия LTS) (Индивидуальные дизайны)
Подходит для точного температурного контроля электронных компонентов. При производстве полупроводниковых электронных компонентов для жестких условий эксплуатации этапы сборки, проектирования и производственного тестирования упаковки ИС включают в себя тепловые испытания электронных компонентов и другие симуляции испытаний на воздействие окружающей среды.
Диапазон температур | Серия -20°C ~ +80°C | Серия -45°C ~ +80°C | Серия -60°C ~ +80°C | Серия -80°C ~ +80°C |
Управление потоком | 7 ~ 45 л/мин | 7 ~ 45 л/мин | 7 ~ 45 л/мин | 7 ~ 45 л/мин |
Чиллеры для хранения энергии(Индивидуальные дизайны)
Решения по жидкостному охлаждению для аккумуляторных систем хранения энергии
Диапазон температур | -45°C ~ +55°C |
Мощность охлаждения | 45 кВт |
Шнековые чиллеры (Индивидуальные дизайны)
Низкотемпературные винтовые холодильники и винтовые холодильники комнатной температуры
Диапазон температур | +5°C ~ +30°C | +5°C ~ +30°C | +5°C ~ +30°C | +5°C ~ +30°C | -25°C ~ +5°C | -25°C ~ +5°C |
Мощность охлаждения | 107 ~ 1027 кВт (один компрессор) | 299 ~ 2134 кВт (двойной компрессор) | 98 ~ 934 кВт (один компрессор) | 272 ~ 1940 кВт (двойной компрессор) | 48 ~ 467 кВт (один компрессор) | 51 ~ 497 кВт (одиночный компрессор) |